比利時IMEC與荷蘭HolstCentre開發出了高靈敏度的氣體傳感器。該傳感器可以檢測出濃度在ppm級別的氣體。新產品的尺寸也小於原產品，可作為“ElectronicNose（電子鼻）”用於食品管理、醫療保健以及檢測氣體泄漏等用途。

   該氣體傳感器如同在電路上集成了IC那樣，在9mm×9mm的芯片上集成了160個小型MEMS。每個MEMS都是“橋”狀振子的一種
，嵌入在壓電材料中。

   檢測氣體的原理如下。首先，事先在該傳感器芯片上塗布高分子材料，目的是吸附希望檢測到的特定氣體。吸附氣體後

，MEMS的共振頻率會發生變化，因此壓電材料產生的電位頻率也會發生變化。由此可以檢測出氣體的吸附情況。

   吸附劑可以通過噴墨的方式分別塗布在每個MEMS上。由此還可以檢測出混合氣體中的各種成分比。

   傳感器的功耗方麵
，每個MEMS均不到1μW。

   目前，IMEC等(deng)正(zheng)在(zai)推(tui)進(jin)將(jiang)該(gai)傳(chuan)感(gan)器(qi)芯(xin)片(pian)與(yu)信(xin)號(hao)讀(du)取(qu)電(dian)路(lu)集(ji)成(cheng)在(zai)一(yi)枚(mei)芯(xin)片(pian)上(shang)的(de)開(kai)發(fa)工(gong)作(zuo)。目(mu)前(qian)使(shi)用(yong)的(de)吸(xi)附(fu)劑(ji)組(zu)合(he)，可(ke)以(yi)辨(bian)識(shi)葡(pu)萄(tao)酒(jiu)和(he)奶(nai)酪(lao)的(de)香(xiang)味(wei)。據(ju)介(jie)紹(shao)，將(jiang)來(lai)有(you)可(ke)能(neng)用(yong)於(yu)識(shi)別(bie)人(ren)的(de)哮(xiao)喘(chuan)、肺癌以及腎髒病等。