• 滿足半導體設備對穩定性及高性能的雙重標準
• 保障精密設備的電動機控製中心安全、連續
  、穩定運行

　　時代搭台，政策助力
，為高技術含量

、高附加值、強競爭力的高端製造產業發展營造了良好氛圍，推動從“製造”到“智造”的新常態。半導體設備作為高端裝備製造產業的代表
、芯片製造環節的基石，在5G
、物聯網
、人工智能等高新技術加持下迎來戰略機遇期，向智能化
、數字化、綠色化升級轉型。

　　中微半導體設備（上海）股份有限公司（簡稱“中微公司”）致力為全球集成電路和LED芯片製造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案
，其開發的電容耦合等離子體（CCP）刻蝕設備
、電感耦合等離子體（ICP）刻蝕設備、深矽刻蝕設備及MOCVD設she備bei，在zai性xing能neng和he競jing爭zheng力li方fang麵mian均jun達da到dao國guo際ji前qian三san的de水shui平ping。這zhe些xie設she備bei是shi製zhi造zao微wei米mi級ji和he納na米mi級ji微wei觀guan器qi件jian的de關guan鍵jian
，而er微wei觀guan器qi件jian是shi現xian代dai數shu碼ma產chan業ye的de基ji礎chu，正zheng不bu斷duan改gai變bian著zhe人ren類lei的de生sheng產chan和he生sheng活huo方fang式shi。ABB為中微公司提供了Tmax XT塑殼斷路器
、AF接觸器、SU200M微型斷路器等技術產品
，保障精密設備的電動機控製中心安全

、連續
、穩定運行。

　　半(ban)導(dao)體(ti)全(quan)產(chan)業(ye)鏈(lian)技(ji)術(shu)壁(bi)壘(lei)較(jiao)高(gao)
，半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)必(bi)須(xu)兼(jian)顧(gu)性(xing)能(neng)與(yu)穩(wen)定(ding)性(xing)
，才(cai)能(neng)滿(man)足(zu)晶(jing)圓(yuan)製(zhi)造(zao)嚴(yan)苛(ke)的(de)良(liang)率(lv)要(yao)求(qiu)。芯(xin)片(pian)越(yue)先(xian)進(jin)
，所(suo)需(xu)的(de)製(zhi)程(cheng)越(yue)小(xiao)，微(wei)觀(guan)圖(tu)案(an)的(de)“分辨率”就越高。以中微公司的刻蝕設備為例，作為納米級雕刻的“手術刀”，其工藝是在芯片上進行微觀加工
，芯片加工的精度相當於達到頭發絲直徑的萬分之一，要求極其苛刻。ABB的電氣產品滿足了半導體設備對穩定性及高性能的雙重標準。

　　Tmax XT塑殼斷路器為雙重絕緣結構
，具有超強的抗機械震動和抗電磁效應，保證了設備的安全性。而AF接觸器擁有寬電壓
、低功耗，分合式開關等優勢，可在電壓不穩定電路中的穩定

、持續運行，是電機控製和電路通斷的一個重大提升
，能幫助中微公司減少80%的消耗。因散熱量減少，同時增加了控製櫃中的安裝密度
，實現了降本增效。

　　萬物互聯的時代，機械設備的智能化升級勢在必行。ABB數shu字zi化hua解jie決jue方fang案an能neng夠gou對dui智zhi能neng元yuan器qi件jian進jin行xing設she備bei健jian康kang管guan理li，提ti前qian預yu測ce設she備bei故gu障zhang
，減jian少shao非fei預yu期qi停ting電dian所suo造zao成cheng的de經jing濟ji損sun失shi，變bian被bei動dong預yu防fang式shi維wei護hu為wei主zhu動dong預yu測ce性xing維wei護hu。ABB與中微公司通力合作，計劃將在半導體設備中應用ABB數字化模塊，實時監測開關主回路運行溫度，保障設備的運行安全
、穩定
，實現智能運維。

　　ABB電氣中國總裁趙永占表示
，半導體裝備製造是信息技術的核心
，需要更為精密先進的技術集成。ABB電氣產品在中微半導體設備上的成功應用，提升了精密設備的穩定、可靠性，印證了ABB在電氣領域深厚的技術專長和品質保證。中微公司是中國高端裝備製造產業的標杆企業之一，ABB願與行業先鋒進一步探索機械設備的高質量發展。