作者：陳康
公司名稱：無錫市瑞達電子有限公司
摘要：本文主要介紹了本人對LOGO!控製器的認識和LOGO!控製器在半導體矽片腐蝕清洗中設備中的試用情況。
關鍵詞：微電子；LOGO!控製器；矽片腐蝕設備。
微電子技術正在悄悄走進航空航天、工業、農業和國防，也正在悄悄進入每一個家庭。小小矽片的巨大“魔力”是我們的前人根本無法想象的。
微電子技術是一門綜合性很強的邊緣學科，自動化和計算機等技術發展，使矽片（集成電路）這種高技術產品的造價已降到十分低廉的程度。這樣就為電子計算機進入千家萬戶鋪平了道路。使我們的生活越來越現代化。
無錫市瑞達電子有限公司自1992年nian開kai始shi涉she足zu微wei電dian子zi設she備bei行xing業ye，憑ping借jie中zhong國guo華hua晶jing電dian子zi集ji團tuan這zhe個ge國guo家jia微wei電dian子zi基ji地di的de優you勢shi和he經jing驗yan，對dui引yin進jin的de國guo際ji先xian進jin設she備bei，工gong裝zhuang夾jia具ju及ji引yin線xian框kuang料liao盒he（Magazine）等一係列產品進行消化吸收、改進研發，為無錫華潤微電子、紹興華越微電子、吉林華微股份等老牌微電子企業設計製造、改造多種專用設備、輔助設備、Magazine 等。 現已擁有矽片清洗機、雙槽清洗機、二氧化矽腐蝕機、去膠機、矽片光刻預處理係統（OAP）、高反壓玻璃電泳設備，爐管清洗機，料盒清洗機，甩幹機等全自動、半自動半導體設備的設計製造能力，與國內70多家微電子生產企業保持良好的業務合作關係，其中知名外商獨資、合資、台資等大型企業達20多家。
本文主要介紹一種利用西門子LOGO!控製器控製的矽片鋁腐蝕清洗設備，能夠體驗西門子LOGO!控製器，本人是榮幸之至。之前無論是在學校裏還是在工作中使用到的都是PLC，但是在實際工作中遇到很多控製器其實是沒有必要選擇功能強大的PLC的，簡單的邏輯控製器完全能夠勝任。這樣對設備的成本控製也是一個很大的幫助。在工控體驗網中發現西門子LOGO！控製器有給試用的機會，當時就迫不及待的注冊申請了。幸運的是，西門子LOGO！控製器體驗第二期中竟然就抽中了。還是非常感謝工控網和西門子LOGO!控製器給我這次機會！
在zai工gong作zuo人ren員yuan耐nai心xin的de詢xun問wen了le我wo試shi用yong的de需xu求qiu之zhi後hou，很hen快kuai就jiu配pei置zhi好hao了le控kong製zhi器qi快kuai遞di到dao我wo手shou中zhong，收shou到dao快kuai遞di之zhi後hou，發fa現xian了le工gong作zuo人ren員yuan的de工gong作zuo細xi致zhi之zhi處chu，一yi起qi寄ji送song的de還hai有you控kong製zhi器qi與yuPC的通訊數據線和LOGO！控製器實訓教程，有了這兩個幫手，對體驗者來可以說是事半功倍了。
拿到產品首先是小巧的外觀吸引了我，操作員界麵是一個背光顯示屏，詳細閱讀了實訓教程，對LOGO!控製器有了大概的了解。立即安裝LOGO!控製器的編程軟件，開始通電試用了。首先按照教程上的介紹進行了一些小的電路路的編程，下載到控製器中看一下控製器與PC的(de)通(tong)訊(xun)是(shi)否(fou)正(zheng)常(chang)，之(zhi)後(hou)就(jiu)是(shi)一(yi)個(ge)漫(man)長(chang)的(de)摸(mo)索(suo)階(jie)段(duan)了(le)，先(xian)熟(shu)悉(xi)編(bian)程(cheng)的(de)方(fang)便(bian)，還(hai)有(you)怎(zen)麼(me)能(neng)夠(gou)使(shi)用(yong)控(kong)製(zhi)器(qi)附(fu)帶(dai)的(de)操(cao)作(zuo)界(jie)麵(mian)，模(mo)擬(ni)量(liang)輸(shu)入(ru)輸(shu)出(chu)怎(zen)麼(me)使(shi)用(yong)，界(jie)麵(mian)的(de)的(de)按(an)鍵(jian)都(dou)是(shi)怎(zen)麼(me)使(shi)用(yong)的(de)，畫(hua)麵(mian)怎(zen)麼(me)編(bian)輯(ji)，畫(hua)麵(mian)和(he)控(kong)製(zhi)程(cheng)序(xu)怎(zen)麼(me)關(guan)聯(lian)，怎(zen)麼(me)能(neng)從(cong)界(jie)麵(mian)上(shang)修(xiu)改(gai)程(cheng)序(xu)裏(li)使(shi)用(yong)的(de)數(shu)據(ju)寄(ji)存(cun)器(qi)的(de)數(shu)值(zhi)，如(ru)果(guo)這(zhe)些(xie)都(dou)能(neng)實(shi)現(xian)的(de)話(hua)，這(zhe)樣(yang)就(jiu)剩(sheng)下(xia)了(le)外(wai)置(zhi)定(ding)時(shi)器(qi)、計數器的費用了，結果還是很驚喜的，這些都可以實現，唯一覺的美中不足的就是LOGO！控製器的輸入輸出端子沒有外置的指示。
以下介紹LOGO!-0BA6控製器應用於腐蝕清洗設備—矽片鋁腐蝕清洗設備，介紹順序按照工作的順序進行：
一、係統原理：
該設備是用於6吋矽片鋁腐蝕清洗設備，處理能力為每槽1隻6吋片架。具體功能如圖中所示：
按工藝處理順序如圖所示：
二、電氣原理圖和LOGO!控製器輸入輸出接線圖
按照係統原理設計電氣控製原理圖和LOGO!控製器輸入輸出端子接線圖如所示：
在zai這zhe台tai設she備bei上shang主zhu要yao是shi控kong製zhi電dian磁ci閥fa的de開kai關guan動dong作zuo和he電dian機ji啟qi動dong動dong作zuo，輸shu入ru信xin號hao也ye多duo為wei開kai關guan量liang信xin號hao，還hai有you使shi用yong到dao兩liang個ge固gu定ding模mo擬ni量liang輸shu出chu信xin號hao，主zhu要yao用yong以yi驅qu動dong純chun水shui清qing洗xi槽cao兆zhao聲sheng啟qi動dong裝zhuang置zhi，兆zhao聲sheng發fa生sheng器qi的de工gong作zuo發fa出chu兆zhao聲sheng的de功gong率lv由you模mo擬ni量liang輸shu出chu模mo塊kuai控kong製zhi。以yi設she備bei的de原yuan理li和he使shi用yong功gong能neng，這zhe些xie動dong作zuo對dui於yu簡jian單dan的de邏luo輯ji控kong製zhi器qi是shi完wan全quan能neng夠gou勝sheng任ren的de，還hai有you就jiu是shiLOGO!控製器的輸出電子能夠驅動10A的電流，這樣對於硬件配置又可以省下不少，這點和常用的PLC相比較有很大的優勢所在。還有就是OBA6自zi帶dai的de顯xian示shi屏ping，不bu僅jin僅jin可ke以yi對dui程cheng序xu進jin行xing編bian輯ji，還hai可ke以yi顯xian示shi和he修xiu改gai程cheng序xu內nei部bu使shi用yong計ji數shu器qi和he定ding時shi器qi的de設she定ding值zhi，可ke以yi下xia外wai置zhi人ren機ji界jie麵mian或huo者zhe是shi計ji數shu器qi或huo者zhe定ding時shi器qi，因yin為wei現xian在zai的de用yong戶hu是shi需xu要yao對dui設she備bei中zhong腐fu蝕shi的de時shi間jian、批次和清洗的時間等自由更改，而這個對於LOGO！來說，它本身就全都解決了！
三、1，鋁腐蝕係統LOGO！控製器梯形圖程序截圖：
2，LOGO!控製器輸入輸出表：
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輸入端子
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信號名稱
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輸出信號
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信號名稱
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I1
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腐蝕槽啟動按鈕
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Q1
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腐蝕槽旋轉
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I2
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腐蝕槽複位按鈕
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Q2
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腐蝕槽提拉
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I3
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CDA壓力檢測
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Q3
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腐蝕槽加熱信號
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I4
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腐蝕液位壓力檢測
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Q4
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腐蝕槽排液信號
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I5
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腐蝕槽排液按鈕
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Q5
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報警塔燈紅色
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I6
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腐蝕槽加熱按鈕
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Q6
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報警塔燈黃色
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I7
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腐蝕槽液位溫度到
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Q7
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報警塔燈綠色
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I8
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腐蝕槽液位溫度異常
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Q8
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設備報警器
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I9
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腐蝕槽提拉高位
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AQ1
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兆聲發生器1
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I10
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腐蝕槽提拉低位
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AQ2
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兆聲發生器2
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I11
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兆聲輸出功率增加
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I12
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兆聲輸出功率減少
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3，信息文本顯示設置界麵：
四、安裝調試
經過以上的準備，就可以進行最終的安裝、布線、chengxutiaoshigongzuo，tiaoshishishiyongbianchengruanjiandezaixianjiankonggongnenghaishihenfangbiande。danshizaitiaoshizhongfaxianlekongzhiqideyidianbuzuzhichujiushimeiyouduiyingshurushuchuzhishidengzhishi，suirankongzhiqibenshendexianshipingshangshikeyizhakandaoshurushuchudezhuangtai，danshihaishimeiyoukongzhiqibenshenshangdaiyouyingjianzhishidengguanchafangbian。tiaoshiwanchenghoujinxingle5天的老化試驗，控製器工作完全正常。
通過近兩個月的學習和摸索，對LOGO!有了一定的了解，也清楚的知道邏輯控製器和PLC的區別，知道了，其實在實際的工作中，很多控製係統LOGO!控製器就足夠了。隻是在使用中不能向PLCyiyangsuiyishiyongneibujidianqi，suoyouyaozaiyouxiandeneibujidianqiqingkuangxiawanchengzijideshejimubiao。zaishiyongdeguochengzhongyepengdaoledadaxiaoxiaodehenduowenti，danzuizhongdoujiejuele，shixianlezijideshejimude。
以上是個人的觀點，有很多的不足和缺點，望多多指教！
附電氣底板接線實物圖：
