作者：陳康
公司名稱：無錫市瑞達電子有限公司
摘要：本文主要介紹了本人對LOGO!控製器的認識和LOGO!控製器在半導體矽片腐蝕清洗中設備中的試用情況。
關鍵詞：微電子；LOGO!控製器；矽片腐蝕設備。
微電子技術正在悄悄走進航空航天、工業、農業和國防，也正在悄悄進入每一個家庭。小小矽片的巨大“魔力”是我們的前人根本無法想象的。
微電子技術是一門綜合性很強的邊緣學科，自動化和計算機等技術發展，使矽片（集成電路）這種高技術產品的造價已降到十分低廉的程度。這樣就為電子計算機進入千家萬戶鋪平了道路。使我們的生活越來越現代化。
無錫市瑞達電子有限公司自1992年nian開kai始shi涉she足zu微wei電dian子zi設she備bei行xing業ye，憑ping借jie中zhong國guo華hua晶jing電dian子zi集ji團tuan這zhe個ge國guo家jia微wei電dian子zi基ji地di的de優you勢shi和he經jing驗yan，對dui引yin進jin的de國guo際ji先xian進jin設she備bei，工gong裝zhuang夾jia具ju及ji引yin線xian框kuang料liao盒he（Magazine）等一係列產品進行消化吸收、改進研發，為無錫華潤微電子、紹興華越微電子、吉林華微股份等老牌微電子企業設計製造、改造多種專用設備、輔助設備、Magazine 等。 現已擁有矽片清洗機、雙槽清洗機、二氧化矽腐蝕機、去膠機、矽片光刻預處理係統（OAP）、高反壓玻璃電泳設備，爐管清洗機，料盒清洗機，甩幹機等全自動、半自動半導體設備的設計製造能力，與國內70多家微電子生產企業保持良好的業務合作關係，其中知名外商獨資、合資、台資等大型企業達20多家。
本文主要介紹一種利用西門子LOGO!控製器控製的矽片鋁腐蝕清洗設備，能夠體驗西門子LOGO!控製器，本人是榮幸之至。之前無論是在學校裏還是在工作中使用到的都是PLC，但是在實際工作中遇到很多控製器其實是沒有必要選擇功能強大的PLC的，簡單的邏輯控製器完全能夠勝任。這樣對設備的成本控製也是一個很大的幫助。在工控體驗網中發現西門子LOGO！控製器有給試用的機會，當時就迫不及待的注冊申請了。幸運的是，西門子LOGO！控製器體驗第二期中竟然就抽中了。還是非常感謝工控網和西門子LOGO!控製器給我這次機會！
在(zai)工(gong)作(zuo)人(ren)員(yuan)耐(nai)心(xin)的(de)詢(xun)問(wen)了(le)我(wo)試(shi)用(yong)的(de)需(xu)求(qiu)之(zhi)後(hou)，很(hen)快(kuai)就(jiu)配(pei)置(zhi)好(hao)了(le)控(kong)製(zhi)器(qi)快(kuai)遞(di)到(dao)我(wo)手(shou)中(zhong)，收(shou)到(dao)快(kuai)遞(di)之(zhi)後(hou)，發(fa)現(xian)了(le)工(gong)作(zuo)人(ren)員(yuan)的(de)工(gong)作(zuo)細(xi)致(zhi)之(zhi)處(chu)，一(yi)起(qi)寄(ji)送(song)的(de)還(hai)有(you)控(kong)製(zhi)器(qi)與(yu)PC的通訊數據線和LOGO！控製器實訓教程，有了這兩個幫手，對體驗者來可以說是事半功倍了。
拿到產品首先是小巧的外觀吸引了我，操作員界麵是一個背光顯示屏，詳細閱讀了實訓教程，對LOGO!控製器有了大概的了解。立即安裝LOGO!控製器的編程軟件，開始通電試用了。首先按照教程上的介紹進行了一些小的電路路的編程，下載到控製器中看一下控製器與PC的de通tong訊xun是shi否fou正zheng常chang，之zhi後hou就jiu是shi一yi個ge漫man長chang的de摸mo索suo階jie段duan了le，先xian熟shu悉xi編bian程cheng的de方fang便bian，還hai有you怎zen麼me能neng夠gou使shi用yong控kong製zhi器qi附fu帶dai的de操cao作zuo界jie麵mian，模mo擬ni量liang輸shu入ru輸shu出chu怎zen麼me使shi用yong，界jie麵mian的de的de按an鍵jian都dou是shi怎zen麼me使shi用yong的de，畫hua麵mian怎zen麼me編bian輯ji，畫hua麵mian和he控kong製zhi程cheng序xu怎zen麼me關guan聯lian，怎zen麼me能neng從cong界jie麵mian上shang修xiu改gai程cheng序xu裏li使shi用yong的de數shu據ju寄ji存cun器qi的de數shu值zhi，如ru果guo這zhe些xie都dou能neng實shi現xian的de話hua，這zhe樣yang就jiu剩sheng下xia了le外wai置zhi定ding時shi器qi、計數器的費用了，結果還是很驚喜的，這些都可以實現，唯一覺的美中不足的就是LOGO！控製器的輸入輸出端子沒有外置的指示。
以下介紹LOGO!-0BA6控製器應用於腐蝕清洗設備—矽片鋁腐蝕清洗設備，介紹順序按照工作的順序進行：
一、係統原理：
該設備是用於6吋矽片鋁腐蝕清洗設備，處理能力為每槽1隻6吋片架。具體功能如圖中所示：
按工藝處理順序如圖所示：
二、電氣原理圖和LOGO!控製器輸入輸出接線圖
按照係統原理設計電氣控製原理圖和LOGO!控製器輸入輸出端子接線圖如所示：
在(zai)這(zhe)台(tai)設(she)備(bei)上(shang)主(zhu)要(yao)是(shi)控(kong)製(zhi)電(dian)磁(ci)閥(fa)的(de)開(kai)關(guan)動(dong)作(zuo)和(he)電(dian)機(ji)啟(qi)動(dong)動(dong)作(zuo)，輸(shu)入(ru)信(xin)號(hao)也(ye)多(duo)為(wei)開(kai)關(guan)量(liang)信(xin)號(hao)，還(hai)有(you)使(shi)用(yong)到(dao)兩(liang)個(ge)固(gu)定(ding)模(mo)擬(ni)量(liang)輸(shu)出(chu)信(xin)號(hao)，主(zhu)要(yao)用(yong)以(yi)驅(qu)動(dong)純(chun)水(shui)清(qing)洗(xi)槽(cao)兆(zhao)聲(sheng)啟(qi)動(dong)裝(zhuang)置(zhi)，兆(zhao)聲(sheng)發(fa)生(sheng)器(qi)的(de)工(gong)作(zuo)發(fa)出(chu)兆(zhao)聲(sheng)的(de)功(gong)率(lv)由(you)模(mo)擬(ni)量(liang)輸(shu)出(chu)模(mo)塊(kuai)控(kong)製(zhi)。以(yi)設(she)備(bei)的(de)原(yuan)理(li)和(he)使(shi)用(yong)功(gong)能(neng)，這(zhe)些(xie)動(dong)作(zuo)對(dui)於(yu)簡(jian)單(dan)的(de)邏(luo)輯(ji)控(kong)製(zhi)器(qi)是(shi)完(wan)全(quan)能(neng)夠(gou)勝(sheng)任(ren)的(de)，還(hai)有(you)就(jiu)是(shi)LOGO!控製器的輸出電子能夠驅動10A的電流，這樣對於硬件配置又可以省下不少，這點和常用的PLC相比較有很大的優勢所在。還有就是OBA6zidaidexianshiping，bujinjinkeyiduichengxujinxingbianji，haikeyixianshihexiugaichengxuneibushiyongjishuqihedingshiqideshedingzhi，keyixiawaizhirenjijiemianhuozheshijishuqihuozhedingshiqi，yinweixianzaideyonghushixuyaoduishebeizhongfushideshijian、批次和清洗的時間等自由更改，而這個對於LOGO！來說，它本身就全都解決了！
三、1，鋁腐蝕係統LOGO！控製器梯形圖程序截圖：
2，LOGO!控製器輸入輸出表：
|
輸入端子
|
信號名稱
|
輸出信號
|
信號名稱
|
|
I1
|
腐蝕槽啟動按鈕
|
Q1
|
腐蝕槽旋轉
|
|
I2
|
腐蝕槽複位按鈕
|
Q2
|
腐蝕槽提拉
|
|
I3
|
CDA壓力檢測
|
Q3
|
腐蝕槽加熱信號
|
|
I4
|
腐蝕液位壓力檢測
|
Q4
|
腐蝕槽排液信號
|
|
I5
|
腐蝕槽排液按鈕
|
Q5
|
報警塔燈紅色
|
|
I6
|
腐蝕槽加熱按鈕
|
Q6
|
報警塔燈黃色
|
|
I7
|
腐蝕槽液位溫度到
|
Q7
|
報警塔燈綠色
|
|
I8
|
腐蝕槽液位溫度異常
|
Q8
|
設備報警器
|
|
I9
|
腐蝕槽提拉高位
|
AQ1
|
兆聲發生器1
|
|
I10
|
腐蝕槽提拉低位
|
AQ2
|
兆聲發生器2
|
|
I11
|
兆聲輸出功率增加
|
|
|
|
I12
|
兆聲輸出功率減少
|
|
|
3，信息文本顯示設置界麵：
四、安裝調試
經過以上的準備，就可以進行最終的安裝、布線、程(cheng)序(xu)調(tiao)試(shi)工(gong)作(zuo)，調(tiao)試(shi)時(shi)使(shi)用(yong)編(bian)程(cheng)軟(ruan)件(jian)的(de)在(zai)線(xian)監(jian)控(kong)功(gong)能(neng)還(hai)是(shi)很(hen)方(fang)便(bian)的(de)。但(dan)是(shi)在(zai)調(tiao)試(shi)中(zhong)發(fa)現(xian)了(le)控(kong)製(zhi)器(qi)的(de)一(yi)點(dian)不(bu)足(zu)之(zhi)處(chu)就(jiu)是(shi)沒(mei)有(you)對(dui)應(ying)輸(shu)入(ru)輸(shu)出(chu)指(zhi)示(shi)燈(deng)指(zhi)示(shi)，雖(sui)然(ran)控(kong)製(zhi)器(qi)本(ben)身(shen)的(de)顯(xian)示(shi)屏(ping)上(shang)是(shi)可(ke)以(yi)查(zha)看(kan)到(dao)輸(shu)入(ru)輸(shu)出(chu)的(de)狀(zhuang)態(tai)，但(dan)是(shi)還(hai)是(shi)沒(mei)有(you)控(kong)製(zhi)器(qi)本(ben)身(shen)上(shang)帶(dai)有(you)硬(ying)件(jian)指(zhi)示(shi)燈(deng)觀(guan)察(cha)方(fang)便(bian)。調(tiao)試(shi)完(wan)成(cheng)後(hou)進(jin)行(xing)了(le)5天的老化試驗，控製器工作完全正常。
通過近兩個月的學習和摸索，對LOGO!有了一定的了解，也清楚的知道邏輯控製器和PLC的區別，知道了，其實在實際的工作中，很多控製係統LOGO!控製器就足夠了。隻是在使用中不能向PLC一(yi)樣(yang)隨(sui)意(yi)使(shi)用(yong)內(nei)部(bu)繼(ji)電(dian)器(qi)，所(suo)有(you)要(yao)在(zai)有(you)限(xian)的(de)內(nei)部(bu)繼(ji)電(dian)器(qi)情(qing)況(kuang)下(xia)完(wan)成(cheng)自(zi)己(ji)的(de)設(she)計(ji)目(mu)標(biao)。在(zai)使(shi)用(yong)的(de)過(guo)程(cheng)中(zhong)也(ye)碰(peng)到(dao)了(le)大(da)大(da)小(xiao)小(xiao)的(de)很(hen)多(duo)問(wen)題(ti)，但(dan)最(zui)終(zhong)都(dou)解(jie)決(jue)了(le)，實(shi)現(xian)了(le)自(zi)己(ji)的(de)設(she)計(ji)目(mu)的(de)。
以上是個人的觀點，有很多的不足和缺點，望多多指教！
附電氣底板接線實物圖：
